ÅØ»ç½º¾Ë¸µÅÏ´ëÇÐ(UT Arlington, UTA)ÀÇ Chiao ±³¼ö´Â dz·Â¿¡³ÊÁö¸¦ ÅëÇØ Àü±â¸¦
»ý»êÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¸¶ÀÌÅ©·Î À©µå¹Ð(Micro-windmill)À» ¼³°èÇÏ¿´´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ±â¼úÀº °Å´ëÇÑ Ç³·ÂÅͺóÀÌ ¼±È£µÇÁö ¾Ê´Â °¡Á¤À» À§ÇÑ
dz·Â¹ßÀüÀ̳ª ÃæÀüÀÌ Ç×»ó ¿ä±¸µÇ´Â ½º¸¶Æ®Æù ¹èÅ͸®¸¦ À§ÇÑ Çõ½ÅÀûÀÎ ÇØ°á¹æ¾ÈÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù. UTAÀÇ ?Smitha Rao¿Í J.-C.
Chiao´Â ¾à 1.8 mmÀÇ ÀåÄ¡¸¦ ¼³°è ¹× Á¦Á¶ÇÏ¿´´Ù. ¼ÒÇü ÀåÄ¡ÀÇ Å©±â´Â 10°³ ¸¶ÀÌÅ©·Î À©µå¹ÐÀÌ ½Ò ÇÑ¾Ë Á¤µµ·Î ¸Å¿ì ÀÛ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¼ÒÇü
dzÂ÷ ¼ö ¹é°³¸¦ ÈÞ´ëÆù¿¡ Àû¿ëÇÑ´Ù¸é â¹®¿¡¼ µé¾î¿À´Â ¿ÜºÎÀÇ ¹Ù¶÷À̳ª ÈÞ´ëÆù ¿òÁ÷ÀÓ¿¡ µû¶ó ¸¸µé¾îÁö´Â Àΰø ¹Ù¶÷À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© Àü±â¸¦ »ý»êÇϰí,
À̸¦ ¹èÅ͸®¿¡ °ø±ÞÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀÌ´Ù.
?À̵éÀÇ ¸¶ÀÌÅ©·Î ·Îº¸Æ½ ÀåÄ¡´Â ´ë¸¸ÀÇ ÇÑ È¸»çÀÇ °ü½ÉÀ» »ç·ÎÀâ¾Ò´Ù. Rao¿Í Chiao´Â
»õ·Î¿î ÀåÄ¡ ¼³°è¿¡ ´ëÇØ °í¹ÎÇÏ¿´°í, ´ë¸¸ ȸ»ç´Â µ¶ÀÚÀûÀÎ Á¦Á¶ °øÁ¤°ú ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ê¾÷ÀÇ ½Å·Ú¼ºÀ» º¸À¯Çϰí ÀÖ¾ú´Ù. Rao´Â "¿ì¸®°¡ ¸¶ÀÌÅ©·Î
À©µå¹Ð¿¡ ´ëÇÑ ¾ÆÀ̵ð¾î¸¦ º¸¿©ÁÖ¾úÀ» ¶§ ÀÌ È¸»ç´Â ¸Å¿ì ³î¶ó¿öÇß´Ù."¶ó°í ¹àÇû´Ù.? ?RaoÀÇ ¼³°è´Â Á¾ÀÌÁ¢±â °³³äÀ» ÀÏ¹Ý ¿þÀÌÆÛ ±Ô¸ðÀÇ ¹ÝµµÃ¼
ÀåÄ¡ ¼³°è¿¡ Àû¿ëÇÏ¿´´Ù. ¿¬±¸ÁøÀº ÀڽŵéÀÇ ¿¬±¸¿¡ °ü½ÉÀ» º¸¿´´ø ´ë¸¸ Á¦Á¶ ȸ»çÀÎ WinMEMS Technologies°¡ ÃÖÀûÈÇÑ Æò¸é ÀûÃþ±¸Á¶
Àü±âµµ±Ý ±â¼ú(Planar Multilayer Electroplating Techniques)À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© 2Â÷¿ø ±Ý¼Ó Á¶°¢À¸·ÎºÎÅÍ º¹ÀâÇÑ 3Â÷¿ø
À̵¿½Ä ±â°è ±¸Á¶¹°(Moveable Mechanical Structure)À» ÀÚ°¡ Á¶¸³ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾ú´Ù. Chiao´Â "¸¶ÀÌÅ©·Î À©µå¹ÐÀº
±Ý¼ÓÇÕ±ÝÀÇ Æ¯Â¡ÀÎ À¯¿¬¼ºÀ» º¸À¯Çϰí ÀÖÀ¸¸ç, RaoÀÇ ¼³°è¸¦ ÅëÇØ ±â´ÉÀ» ÃÖ¼ÒÈÇÏ¿´±â ¶§¹®¿¡ Å« ¹®Á¦¾øÀÌ ÀÛµ¿ÇÑ´Ù."¶ó°í ¹àÇû´Ù.
WinMEMS»ç´Â MEMS(Micro-electro Mechanical system) ¿¬±¸¿¡ °ü½ÉÀ» °®°Ô µÇ¾ú°í, UTA¿Í Çù·Â
°ü°è¸¦ ½ÃÀÛÇÏ¿´´Ù. Áö³ 2013³â WinMEMS»çÀÇ ´ëÇ¥µéÀº UTA¸¦ ¹æ¹®ÇÏ¿© Çù·Â¿¡ °üÇØ ³íÀÇÇϱ⵵ ÇÏ¿´´Ù. À̵éÀº UTA°¡ ÁöÀûÀç»ê±ÇÀ»
º¸À¯Çϰí, WinMEMS´Â »ó¾÷È °ü·Ã ±âȸ¸¦ È®º¸ÇÏ´Â °Í¿¡ µ¿ÀÇÇÏ¿´´Ù. UTA´Â ÀÌ ±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ Æ¯ÇãÃâ¿øÀ» ÁøÇà Áß¿¡ ÀÖ´Ù. ?ÇöÀç
WinMEMS´Â UTA¿ÍÀÇ Çù·Â³»¿ëÀ» À¥»çÀÌÆ®³ª ¿ÜºÎ¹ßÇ¥¸¦ ÅëÇØ º¸¿©ÁÖ°í ÀÖ´Ù. ¿©±â¿¡´Â ¸¶ÀÌÅ©·Î À©µå¹Ð, ±â¾î, ÀδöÅÍ µî ´Ù¾çÇÑ Á¦Ç°ÀÌ
Æ÷ÇԵǾî ÀÖÀ¸¸ç, À̵é Á¦Ç°Àº ¸ðµÎ Àΰ£ÀÇ ¸Ó¸®Ä«¶ô Á÷°æÀÇ ÀϺÎÀÏ Á¤µµ·Î ÀÛ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ÀåÄ¡µéÀº ¼ö¼ú µµ±¸, À§ÇèÇÑ Áö¿ªÀÇ Å½»öÇϱâ À§ÇÑ
°¨ÁöÀåÄ¡, ¸¶ÀÌÅ©·ÎÀåÄ¡¸¦ Á¶¸³Çϱâ À§ÇÑ Á¦Á¶ µµ±¸ µîÀ¸·Î Ȱ¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Â ¸¶ÀÌÅ©·Î ·Îº¿ Á¦ÀÛ¿¡ ÇʼöÀûÀÌ´Ù.
Áö³ 2009³â
?UTA¿¡¼ ¹Ú»çÇÐÀ§¸¦ ȹµæÇÏ¿´´ø Rao´Â "WinMEMS»ç¿Í °°Àº ±¹Á¦ÀûÀΠȸ»ç°¡ ÀÌ·¯ÇÑ ¿¬±¸°á°ú¿¡ °ü½ÉÀ» °®´Â °Í°ú ¿¬±¸°á°ú°¡ ¾î¶»°Ô »ç¿ëµÉ
¼ö Àִ°¡¸¦ º¼ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀº ±â»Û ÀÏÀÌ´Ù. ±×·¯³ª ÀÌ·¯ÇÑ ¸¶ÀÌÅ©·Î À©µå¹ÐÀº ÀÌÁ¦ ½ÃÀÛÀÏ »ÓÀÌ´Ù."¶ó°í ¸»ÇÑ´Ù. Áö³ 2013³â 9¿ù
ChiaoÀÇ ¿¬±¸½Ç¿¡¼´Â ÀÌ ¸¶ÀÌÅ©·Î À©µå¹Ð¿¡ ´ëÇÑ Å×½ºÆ®¸¦ ¼º°øÀûÀ¸·Î ¼öÇàÇÏ¿´´Ù. ÀÌ ¹Ì¼¼ dzÂ÷´Â ¼ÒÀç ±Õ¿ÀÌ ¹ß»ýÇÏÁö ¾ÊÀ¸¸é¼ °·ÂÇÑ Àΰø
¹Ù¶÷ÇÏ¿¡¼ ÀÛµ¿ÀÌ °¡´ÉÇÑ °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù. ÀÌ´Â °·ÂÇÑ ´ÏÄÌ Çձݰú ½º¸¶Æ® ¿¡¾î·Î´ÙÀ̳ª¹Í ¼³°è¸¦ ä¿ëÇÏ¿´±â ¶§¹®ÀÌ´Ù.
Rao´Â
"MEMS ¼³°èÀÚ°¡ °®°í ÀÖ´Â °¡Àå Å« ¹®Á¦´Â ¼ÒÀç°¡ ³Ê¹« ¾àÇÏ´Ù´Â °ÍÀÌ´Ù. ¿¬±¸ÁøÀº ´ÏÄÌ ÇÕ±ÝÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ÀÌ·¯ÇÑ ¾î·Á¿òÀ» °ÞÁö ¾Ê¾Ò´Ù. À̵éÀº
¸Å¿ì °ß°íÇÏ´Ù."¶ó°í ¹àÇû´Ù. ¸¶ÀÌÅ©·Î À©µå¹ÐÀº ¹èÄ¡½Ä °øÁ¤À» »ç¿ëÇÏ´Â ¾î·¹ÀÌ(Array)¿¡¼ Á¦À۵ȴÙ. ÇÑ °³ÀÇ ÀåÄ¡¸¦ Á¦ÀÛÇÏ´Â ºñ¿ëÀº ¼ö ¹é
¶Ç´Â ¼ö õ°³ÀÇ ´ÜÀÏ ¿þÀÌÆÛ(Wafer)¸¦ ¸¸µå´Â °Í°ú ºñ½ÁÇÑ ¼±ÀÌ´Ù. µû¶ó¼ ¸Å¿ì Àú·ÅÇÑ ½Ã½ºÅÛÀ» ÅëÇÑ ´ë·® »ý»êÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù."¶ó°í
¼³¸íÇÏ¿´´Ù.
Chiao´Â "À̵éÀÌ ÈÞ´ë¿ë ÀüÀÚÁ¦Ç° Ç¥¸é¿¡ °ª½Î°Ô Á¦ÀÛµÉ ¼ö ÀÖ´Ù°í »ý°¢Çغ¸ÀÚ. ¹èÅ͸®°¡ ºÎÁ·ÇÏ¸é ½º¸¶Æ®ÆùÀ» ¿ÊÀÇ
¼Ò¸Å µî¿¡ ³Ö°í ¿òÁ÷À̸é ÀÌ ÀÛÀº ÀåÄ¡´Â ÀΰøÀûÀ¸·Î ¸¸µé¾îÁö´Â ¹Ù¶÷À» ÀÌ¿ëÇØ ¹èÅ͸® ÃæÀü¿¡ ÇÊ¿äÇÑ Àü±â¸¦ »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù."¶ó°í ¸»ÇÑ´Ù. ¶ÇÇÑ
±×´Â ÀåÄ¡ÀÇ ÀÛÀº Å©±â·Î ÀÎÇØ Áý¾ÈÀ̳ª °Ç¹°ÀÇ º® µî¿¡ ¼ö õ°³ÀÇ ¸¶ÀÌÅ©·Î À©µå¹ÐÀ» ¼³Ä¡ÇÏ¿© dz·ÂÀ» È®º¸ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
URL :
http://www.sciencedaily.com/releases/2014/01/140115074336.htm